Spectral ellipsometry complex Ellipse 1891 SAG

Spectral ellipsometry complex "Ellipse 1891 SAG" (wavelength range 350-1000 nm) is designed for precision measurements of the thickness of single-layer and multilayer thin-film structures, as well as investigation of the spectral optical constants (refractive index and absorption coefficient), the structural material properties (porosity, the presence of , and the concentration distribution of impurities in the film) over the entire spectral range.

The basis of the complex high-speed static scheme laid ellipsometric measurements . Algorithms for signal reading and calculation of operating parameters provide very high sensitivity needed for measurements with high spectral razresheniem.Ispolzovanie new measuring system provides a quick scan of the entire spectrum or individual sections of the spectrum with high spectral resolution.


  • versatility coupled with the high efficiency and accuracy;
  • odnoznachnochnostyu calculating ellipsometric paramerov they are measured in the full range of their values ​​(Ψ - from 0 to 90 degrees ; Δ - from 0 to 360 degrees ) with the same accuracy and sensitivity, which allows unambiguous interpretation of measurement results.

Software security is a complete spectral kopleks tool holding different modes of measurement , visualization, simulation and analysis of results.

additional Features

Spectral ellipsometer may alternatively be mounted on the process chamber (in-situ option ) .


technical characteristics


Характеристика Значение
Источник света галогенная лампа
Спектральный диапазон, нм 350 - 1000 nm
Время измерения
на одной длине волны 1 мс
полный спектр 8–20 сек
Диаметр светового пучка 3 мм
Диапазон углов падения света, фиксированно 45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°, 90°
Предметный столик
ручное перемещение 25 мм по осям X.Y
Вертикальное перемещение 0–20 мм
Регулировка наклона плоскости предметов
Воспроизводимость ψ= 0.02°
dΔ= 0.05°
Питание 220–240 В (50/60 Гц)
Размеры 850x400x300 мм
Вес 55 кг
Оптические м механические компоненты
Монохроматор малогабаритный быстродействующий с вогнутой дифракционной решеткой
Поляризатор Призма Глана-Тейлора
Анализатор Призма Волластона
Компенсатор Ахроматический фазосдвигающий элемент типа Ромб Френеля
Фотоприемник Два кремниевых двухэлементных фотоприемника