Установка WS-650Mz-23NPP (Laurell Technologies Corporation) предназначена для получения пленок различных соединений методом распыления раствора на вращающуюся подложку (spin-coating). |
1. Возможность обработки подложек диаметром от 3 до 150 мм.
2. Регулируемая скорость вращения подложки – до 12 000 об/с.
3. Автоматизированная система подачи раствора на вращающуюся пластину.
4. Камера прибора изготовлена из материала выдерживающего длительное воздействие минеральных кислот, щелочей и спиртов.