Испытания полупроводниковых структур - Agilent B1500A, зондовая станция РМ-5

Прибор Agilent B1500A в комплексе с зондовой станцией РМ-5 (Cascade Microtech) позволяет проводить измерения электрофизических свойств полупроводниковых структур (вольт-амперные и вольт-фарадные характеристики).

Характеристики зондовой станции:

1)   зона установки образца X-Y155•155 мм (точность позиционирования ±5 мкм)

2)   высота образца - до 30 мм

3)   вращение держателя - ±10°

4)   закрепление образца – вакуумное (-0,8 бар, 3 независимых зоны прижима)

5)   манипуляторы - DPP-210-M-S с коаксиальными руками и бронзовыми иглами толщиной 7 мкм

6)   имеется возможность фотографирования измеряемый образцов через светлопольный оптический микроскоп отражённого света 15х – 100х и регулируемой светодиодной подсветкой с помощью CCD-камеры (разрешение до 1024•768 пикс., цвет.,формат .tiff)

7)   возможно измерение геометрических размеров образцов с помощью ПО для анализа фотографий измеряемых объектов

Измерение вольтфарадных характеристик (зависимости ёмкость от напряжения (C-V), ёмкости от времени (C-t), ёмкости от частоты (C-f), измерение полного сопротивления по переменному току:

1)   Частотный диапазон – 1 КГц – 5 МГц (дискретность 1 мГц, погрешность – 0,008%)

2)   Выходной сигнал – 10-250 мВ_СКЗ (дискретность 1 мВ_СКЗ)

3)   Смещение по постоянному току 0 - ±25 В (дискретность 1 мВ, по согласованию смещение до 100 В)

4)   Развёртка

a.   Максимальное кол-во точек при измерениях C-V, C-tи C-f- 1001 точек

b.   Тип развёртки: линейная, логарифмическая

c.   Вид развёртки: односторонняя, двусторонняя

d.   Направление развертки: «вверх», «вниз»

5)   Возможные измерения: Cp-G, Cp-D, Cp-Q, Cp-Rs, Cs-Rs, Cs-D, Cs-Q, Lp-G, Lp-D, Lp-Q, Lp-Rs, Ls-Rs, Ls-D, Ls-Q, R-X, G-B, Z-θ,

Y-θ

Измерение вольтамперных характеристик (I-V, в т.ч. квазистатические вольт-фарадных характеристики с компенсацией тока утечки QS-CV):

1)   Диапазон измерений: до 100 В/0,1 А в 4-квадрантном режиме

2)   Минимальное разрешение измерителя: 10 фА/0,5 мкВ

3)   Минимальное разрешение источника: 50 фА/25 мкВ

4)   Минимальный период выборки при измерениях: 100 мкс

5)   Минимальная длительность импульса: 500 мкс

6)   Возможности измерений:

a.   Точечные (до 10001 точек)

b.   Свипирование

c.   Измерения с выборкой по времени

d.   Импульсные

Требования к образцам:наличие ровных контактных площадок/измеряемых участков (с одним из линейных размеров не менее 15 мкм), материал образца/контактной площадки не должен налипать на иглы зондов.

Необходимые характеристики:

1)   Максимально допустимые значения V, Iи fдля данного образца

2)   Требуемые измеряемые характеристики, тип развёртки и дискретность

Примечания:

1)   в настоящей комплектации измерителя AgilentB1500Aизмерения проводятся только с использованием псевдокельвиновского соединением (2 зонда)

детальные характеристики модулей источников/измерителей (в т.ч. погрешности измерения) указаны в приложенном файле. Установленные в приборе модули: MFCMU(1 шт.), MPSMUB1511В (2 шт.), GNDU(1 шт.)