Спектральный эллипсометрический комплекс Эллипс 1891 САГ

Спектральный эллипсометрический комплекс «Эллипс 1891 САГ» (диапазон длин волн 350-1000 нм) предназначен для проведения прецизионных измерений толщины однослойных и многослойных тонкопленочных структур, а также исследования спектральных оптических постоянных (показателя преломления и коэффициента поглощения при известных значениях толщины пленок).

В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмы считывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование современной измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением.

Преимущества

• универсальность в сочетании с высокой производительностью и точность;
• однозначночностью вычисления эллипсометрических парамеров: они измеряются в полном диапазоне их значений ( Ψ — от 0 до 90 градусов; Δ — от 0 до 360 градусов ) с одинаковой точностью и чувствительностью, что обеспечивает однозначную интерпретацию результатов измерений.

Программное обеспечения спектрального коплекса является законченным инструментом проведение различных режимов измерения, визуализации, моделирования и анализа результатов.