Установка для вакуумного напыления Q-150T ES

Q 150T ES – универсальная вакуумная система позволяющая получать пленки металлов методами термического испарения и катодного распыления материалов, а также  углеродных пленок методом вакуумно-дугового испарения графита.

        

1.Для вакуумирования системы используется турбо-молекулярный насос.

2.Наличие модулей термического испарения и катодного распыления материалов обеспечивает возможность нанесение покрытий как легкоплавких металлов, таких как алюминий, так и тугоплавких, таких как платина, вольфрам и т.д. Катодное распыление производится при пониженном давлении в атмосфере аргона.

3.Возможно напыление углерода в дуговом режиме, имеется опция импульсного напыления углерода из кордов.

4.Рабочая камера выполнена из борсиликатного стекла с внутренним диаметром  150 мм  и высотой 127 мм.

5.Держатель для образца вращающийся, диаметром 60 мм, скоростью вращения 8-20 об/мин.

6.Напыление возможно проводить как по таймеру, так и по заданной толщине, определяемой интегрированным в камеру датчиком.

7.Автоматическая система контроля вакуума с возможностью программирования для напыления различных материалов.

8.Станция имеет систему ионного травления для чистки апертур СЭМ.

9.Для модификации поверхности подложек (создание свойств гидрофильности, гидрофобности) система имеет опцию режима тлеющего разряда.

Печать E-mail