Спектральный эллипсометрический комплекс Эллипс 1891 САГ

Спектральный эллипсометрический комплекс «Эллипс 1891 САГ» (диапазон длин волн 350-1000 нм) предназначен для проведения прецизионных измерений толщины однослойных и многослойных тонкопленочных структур, а также исследования спектральных оптических постоянных (показателя преломления и коэффициента поглощения), структурных свойств материалов (пористость; наличие, концентрация и распределение примесей в пленке).

В основу комплекса положена быстродействующая статическая схема эллипсометрических измерений. Алгоритмы считывания сигналов и расчета рабочих параметров обеспечивают очень высокую чувствительность, необходимую для проведения измерений с высоким спектральным разрешением. Использование современной измерительной схемы обеспечивает быстрое сканирование всего спектра или отдельных участков спектра с повышенным спектральным разрешением.

Преимущества

  • универсальность в сочетании с высокой производительностью и точность;
  • однозначночностью вычисления эллипсометрических парамеров: они измеряются в полном диапазоне их значений ( Ψ — от 0 до 90 градусов; Δ — от 0 до 360 градусов ) с одинаковой точностью и чувствительностью, что обеспечивает однозначную интерпретацию результатов измерений.

Программное обеспечения спектрального коплекса является законченным инструментом проведение различных режимов измерения, визуализации, моделирования и анализа результатов.

 

 

Технические характеристики

 

Характеристика Значение
Источник света галогенная лампа
Спектральный диапазон, нм 350 - 1000 nm
Время измерения
на одной длине волны 1 мс
полный спектр 8–20 сек
Диаметр светового пучка 3 мм
Диапазон углов падения света, фиксированно 45°, 50°, 55°, 60°, 65°, 70°, 90°
Предметный столик
ручное перемещение 25 мм по осям X.Y
Вертикальное перемещение 0–20 мм
Регулировка наклона плоскости предметов
Воспроизводимость ψ= 0.02°
dΔ= 0.05°
Питание 220–240 В (50/60 Гц)
Размеры 850x400x300 мм
Вес 55 кг
Оптические м механические компоненты
Монохроматор малогабаритный быстродействующий с вогнутой дифракционной решеткой
Поляризатор Призма Глана-Тейлора
Анализатор Призма Волластона
Компенсатор Ахроматический фазосдвигающий элемент типа Ромб Френеля
Фотоприемник Два кремниевых двухэлементных фотоприемника

Печать E-mail